Diener plazma reaktor (13,56 MHz)
Popis přístroje:
Přístroj je určen pro povrchové úpravy materiálů v plazmatu. Jedná se o nízkoteplotní a nízkotlaké plasma generované při frekvenci 13,56 MHz. Díky vyšší hustotě plazmatu může být použit pro chemickou modifikaci či leptání povrchů.
Klíčové vlastnosti:
- radiofrekvenční generátor (HF) 13,56 kHz
- maximální výkon 100 W
- reakční prostor 500 cm3
- možnost dvou procesních plynů s průtokem max. 90 cm3/min
- pracovní tlak: 0,01 – 1 mbar
Umístění:
Ústav fyziky a materiálového inženýrství (laboratoř U15/404).
Odpovědná osoba:
Jméno: Aleš Mráček
Tel.: +420 576 035 102
Mobil: +420 733 690 668
E-mail: mracek@utb.cz
Kancelář: U15/438