Univerzita Tomáše Bati ve Zlíně

Otevřít navigaci

Přístrojové vybavení

Diener plazma reaktor (13,56 MHz)

Popis přístroje:
Přístroj je určen pro povrchové úpravy materiálů v plazmatu. Jedná se o nízkoteplotní a nízkotlaké plasma generované při frekvenci 13,56 MHz. Díky vyšší hustotě plazmatu může být použit pro chemickou modifikaci či leptání povrchů.

Klíčové vlastnosti:

  • radiofrekvenční generátor (HF) 13,56 kHz
  • maximální výkon 100 W
  • reakční prostor 500 cm3
  • možnost dvou procesních plynů s průtokem max. 90 cm3/min
  • pracovní tlak: 0,01 – 1 mbar

Umístění:
Ústav fyziky a materiálového inženýrství (laboratoř U15/404).

Odpovědná osoba:
Jméno:            Aleš Mráček
Tel.:                  +420 576 035 102
Mobil:              +420 733 690 668
E-mail:             mracek@utb.cz
Kancelář:         U15/438

Fakulty a součásti

Zavřít