Univerzita Tomáše Bati ve Zlíně

Otevřít navigaci

Přístrojové vybavení

Diener plazma reaktor (2,45 GHz)

Popis přístroje:
Přístroj je určen pro povrchové úpravy materiálů v plazmatu. Jedná se o nízkoteplotní a nízkotlaké plazma generované při frekvenci 2,45 GHz. Umožňuje čištění, aktivaci či chemickou modifikaci povrchů a jejich leptání bez poškození teplotně citlivých materiálů.

Klíčové vlastnosti:

  • – mikrovlnný generátor 2,45 GHz
  • – maximální výkon 300 W
  • – reakční prostor 300 cm3
  • – možnost dvou procesních plynů s průtokem max. 45 cm3/min
  • – pracovní tlak: 0,01 – 1 mbar

Umístění:
Ústav fyziky a materiálového inženýrství (laboratoř U15/404).

Odpovědná osoba:
Jméno:            Aleš Mráček
Tel.:                  +420 576 035 102
Mobil:              +420 733 690 668
E-mail:             mracek@utb.cz
Kancelář:         U15/438

Fakulty a součásti

Zavřít