Diener plazma reaktor (2,45 GHz)
Popis přístroje:
Přístroj je určen pro povrchové úpravy materiálů v plazmatu. Jedná se o nízkoteplotní a nízkotlaké plazma generované při frekvenci 2,45 GHz. Umožňuje čištění, aktivaci či chemickou modifikaci povrchů a jejich leptání bez poškození teplotně citlivých materiálů.
Klíčové vlastnosti:
- mikrovlnný generátor 2,45 GHz
- maximální výkon 300 W
- reakční prostor 300 cm3
- možnost dvou procesních plynů s průtokem max. 45 cm3/min
- pracovní tlak: 0,01 – 1 mbar
Umístění:
Ústav fyziky a materiálového inženýrství (laboratoř U15/404).
Odpovědná osoba:
Jméno: Aleš Mráček
Tel.: +420 576 035 102
Mobil: +420 733 690 668
E-mail: mracek@utb.cz
Kancelář: U15/438