Profiloměr optický 3D Zygo – NewView 8000
Popis přístroje:
Optický profilometr je výkonný interferometrický systém nové generace s technologií Coherence Scanning Interferometry, která používá mód vertikálního interferometrického skenování (Vertical Scanning Interferometry) i interferometrického skenování na základě fázového posuvu využitím bílého a monochromatického světla (Phase Shifting Interferometry). Díky kombinaci těchto metod je možné provádět měření na transparentních i netransparentních materiálech, jako jsou kovy, dielektrika (sklo, polymery, keramika), lze měřit jejich multivrtsvy nebo jen reflexní kovové vrstvy na dielektrických materiálech, a to bez nutnosti volby módu měření.
Klíčové vlastnosti:
- Opakovatelnost: až 0,12 nm
- rychlost vertikálního skenování: 96 µm.s-1
- Rozsah výšky skenovaného profilu: (150 – 20000) µm
- Zorné pole: (0,04 – 16) mm
- SW: Streamlined Mx™
Umístění:
Ústav výrobního inženýrství
Odpovědná osoba:
Jméno: prof. Dr. Ing. Vladimír Pata
Tel.: +420 576 035 017
Mobil: +420 603 725 258
E-mail: pata@utb.cz
Kancelář: U15/229